SiC קרמיקה

קרמיקה של SiC נמצאת בשימוש יותר ויותר בציוד מוליכים למחצה, בעיקר משום שהיא מחזיקה מעמד טוב יותר בתנאים קשים יותר. כאשר הטמפרטורה עולה או שהתהליך הופך לאגרסיבי יותר, חומרים כמו קוורץ או סיליקון יכולים להתחיל להראות מגבלות, וכאן בדרך כלל נכנס לתמונה SiC. בתהליכי תנור כמו חמצון או דיפוזיה, חלקים כמו סירות פרוסות או משוטים העשויים מ-SiC נוטים להחזיק מעמד זמן רב יותר. הם שומרים על צורתם ואינם מביאים זיהום רב, גם לאחר ריצות ארוכות. אנשים עוברים לעתים קרובות מקוורץ מסיבה זו, במיוחד כאשר התחזוקה הופכת תכופה מדי.

לצורך איכול, SiC נבחר לעתים קרובות פשוט משום שהוא שורד פלזמה זמן רב יותר. ההבדל באורך החיים בהשוואה לחלקי סיליקון מורגש במערכות רבות, אם כי הוא עדיין תלוי בתהליך המדויק. זה גם עוזר מעט בבקרת חלקיקים, שהופכת רגישה יותר ככל שהצמתים מתכווצים. תראו גם SiC המשמש כספקטים ב-MOCVD או CVD. במקרים אלה, זה פחות עניין של "חוזק" ויותר עניין של שמירה על יציבות התנהגות הטמפרטורה. מעבר לכך, הוא מופיע בחלקי תא כמו בטנות או ראשי מקלחת, ולפעמים גם בטיפול ברכיבים.