ציפוי CVD סיליקון קרביד (SiC).

ציפוי CVD SiC הוא בעצם שכבת סיליקון קרביד המונחת על גרפיט, והוא נמצא בשימוש נרחב בכלי אפיטקסיה שבהם גם טמפרטורה וגם ניקיון חשובים. בקווי ייצור אמיתיים, תראו אותו לעתים קרובות במערכות של AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, כמו גם כמה פלטפורמות הקשורות ל-AMAT. מה שהופך אותו לשימושי הוא לא רק עמידות הטמפרטורה, אלא היציבות הכוללת במהלך ריצות ארוכות. בתנאי אפיטקסיה אופייניים - מימן, אמוניה או אפילו גזים כלוריים - הציפוי נשאר יציב יחסית ומגן על הגרפיט שמתחת. זה עוזר לשמור על שדה תרמי עקבי יותר ומפחית את הסיכוי להופעת חלקיקים במהלך הגידול.

ברוב המקרים, הציפוי מוחל על חלקים כמו סוספטורים, נשאי פרוסות, טבעות גרפיט או רכיבים בצורת חצי ירח. כל אלה מעורבים ישירות בחימום או מיקום של פרוסות, כך שכל חוסר יציבות קטן יכול להשפיע על התפוקה. מסיבה זו, חלקים מצופים מטופלים לעתים קרובות כחומרים מתכלים שעדיין צריכים להיות אמינים לאורך מחזורים מרובים, במיוחד בייצור של 4 עד 12 אינץ'.