סירת פרוסות קוורץ מוליכים למחצה

סירות פרוסות קוורץ של Semixlab Semiconductor Semiconductor הן כלי מיסב מרכזיים המיועדים לתהליכים בטמפרטורה גבוהה כגון דיפוזיה, חמצון, CVD, חישול וכו', בייצור מוליכים למחצה. הן עשויות מקוורץ סינתטי טוהר גבוה עם עמידות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, יציבות כימית ומקדם התפשטות תרמית נמוך, הן יכולות לשאת פרוסות ביציבות בסביבות תהליך קשות כדי להבטיח עקביות תהליך ותפוקת מוצר.

ציוד רלוונטי: תואם לכל סוגי תנורי דיפוזיה אופקיים/אנכיים (תנור דיפוזיה אופקי/אנכי), מערכת LPCVD וציוד לטיפול בחום מהיר (RTP).

אבטחת איכות

בקרת איכות קפדנית: גילוי דליפות באמצעות ספקטרומטריית מסות הליום 100% (קצב דליפה <1×10⁻⁹ mbar·L/s). דוח טוהר החומר (בדיקת ICP-MS) מונפק עבור כל אצווה.

תקני הסמכה: בהתאם למפרטי SEMI F47, באמצעות הסמכת מערכת ניהול האיכות ISO 9001:2015.

חיי שירות: אורך החיים הממוצע בתנאים רגילים הוא יותר משנתיים (בהתאם לתדירות התהליך ולתנאי הטמפרטורה).

למה לבחור בסירת הקוורץ שלנו?

שירותים מותאמים אישית: גודל ובנייה מותאמים אישית בהתאם לדגם הציוד (TEL, Kokusai, ASM וכו') ודרישות התהליך.

תגובה מהירה: זמן אספקה ​​סטנדרטי הוא 3 שבועות, ניתן לקצר הזמנות דחופות ל-10 ימי עסקים.

רשת שירות עולמית: מספקים ייעוץ טכני, הדרכת התקנה ותמיכה בתחזוקה לאחר המכירה. מפרט חומרים.

מפרט פרויקט

סינתזת חומרים קוורץ התמזג

טוהר ≥99.99% SiO₂

תאימות גודל פרוסה 8 אינץ', 12 אינץ' (ניתן להתאים אישית 6 אינץ' או 18 אינץ')

טמפרטורת הפעלה ≤1200°C (רציף) / 1300°C (שיא)

מקדם התפשטות תרמית (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

חספוס פני השטח (Ra) ≤0.2 מיקרומטר

קיבולת סטנדרטית 25/50/100 טבליות

גזי תהליך רלוונטיים O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl וכו'

חמצון/דיפוזיה בטמפרטורה גבוהה: סימום סיליקון (דיפוזיה של זרחן, בורון), צמיחת תחמוצת שער.

שקיעת שכבה דקה: סיליקון פוליקריסטלי LPCVD, שקיעת סיליקון ניטריד (Si₃N₄).

תהליך חישול: חישול לאחר השתלת יונים (RTA), סגסוגת מתכת.

מוליך למחצה דור שלישי: סיליקון קרביד (SiC), תהליך אפיטקסיה של גליום ניטריד (GaN).

1. מאפייני החומר

קוורץ בעל טוהר גבוה במיוחד (>99.99% SiO₂): מונע זיהום על ידי יוני מתכת (Na+, K+, Fe³+ וכו') ועומד בדרישות הניקיון לתהליכים מתקדמים (צמתים <5nm).

עמידות בטמפרטורה גבוהה: טמפרטורת פעולה רציפה של 1200°C, עמידות מיידית בטמפרטורה של 1300°C, ללא סיכון לעיוות או התגבשות.

אינרטיות כימית: עמידות בפני גזי תהליך כגון HCl, H₂, O₂, SiH₄ וסביבות חומציות/בסיסיות. אינו מאכל בשימוש ארוך טווח.

2. עיצוב מדויק

אופטימיזציה של המבנה:

דיוק מרווח החריצים הוא ±0.05 מ"מ, מה שמבטיח מיקום מדויק של פרוסות הוואקל (8/12 אינץ') ומונע שריטות או תזוזה.

עיצוב עמיד בפני הלם תרמי, מסתגל לעלייה וירידה מהירות (קצב חימום ≤20°C/min).

היווצרות חלקיקים נמוכה: המשטח מלוטש בדיוק רב (Ra ≤0.2μm) כדי להפחית הידבקות ונפילה של חלקיקים.

3. תצורה מגוונת

קיבולת אופציונלית: תמיכה ב-25 יחידות, 50 יחידות, 100 יחידות ומפרטים סטנדרטיים אחרים, ניתן גם להתאים אישית מספר חריץ לא סטנדרטי.

התאמת סוג: סירה פתוחה, סירה סגורה או סוג סירה מיוחד (כגון עיצוב תעלת הטיה תחתית סירה).

ש 1: האם אתה יכול לספק גודל לא סטנדרטי או עיצוב מיוחד?

A1: תמיכה של Semixlab עבור שירותים מותאמים אישית, כולל התאמת גודל, גבול עליון של טמפרטורה (נדרש שדרוג חומר) או סוג ממשק. אנא צרו קשר עם הצוות הטכני של Semixlab לקבלת דרישות ספציפיות.

ש 2: כמה זמן הוא זמן ההובלה?

A2: זמן האספקה ​​למוצרים סטנדרטיים הוא 4-6 שבועות, וזמן התכנון והאימות למוצרים בהתאמה אישית הוא 2-3 שבועות.

ש 3: האם אתם מספקים תמיכה טכנית לאחר המכירה?

A3: כן, אנו מספקים שירותי ייעוץ טכני ושירותי תגובה חירום לכל החיים. במקרה של בעיות התקנה או שימוש, ניתן ליצור קשר עם צוות התמיכה בכל עת באמצעות דוא"ל או טלפון.

שאלה 4: האם המוצר עומד בתקני תעשיית המוליכים למחצה?

A4: כן, תהליך הייצור עומד בתקני SEMI ומאושר על ידי מערכת ניהול האיכות ISO 9001. כל אצווה נבדקת לאטימות אוויר, עמידות בטמפרטורה וטוהר לפני עזיבת המפעל.