מחממי גרפיט טוהר גבוה

פתרונות חימום גרפיט מתקדמים לייצור מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה

ב-Semixlab, אנו מתמחים באספקת מחממי גרפיט בעלי ביצועים גבוהים וטוהר גבוה, המיועדים לתהליכי ייצור מתקדמים של מוליכים למחצה, כולל גידול גבישי SiC, אפיטקסיה של מוליכים למחצה, שקיעת CVD וטיפול תרמי בטמפרטורה גבוהה.

מחממי הגרפיט שלנו מיוצרים מגרפיט איזוטרופי איכותי בעל טוהר גבוה וממוטבים לתנאים תרמיים קיצוניים, ומספקים ביצועים אמינים בוואקום, גז אינרטי ומערכות עיבוד מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה.

תפקידי מחממי גרפיט בעלי טוהר גבוה בתהליכי מוליכים למחצה

① תהליך גידול גבישי SiC (PVT)

אחד היישומים הקריטיים ביותר של מחממי גרפיט בעלי טוהר גבוה הוא גידול גבישים בכמות גדולה של SiC באמצעות שיטת הובלת אדים פיזיקלית (PVT).

במהלך גידול גבישי SiC, הטמפרטורות בדרך כלל עולות על: 2000 ℃

תנור הגרפיט מספק שדה תרמי יציב הנדרש עבור:

● סובלימציה של אבקת SiC

● בקרת הובלת אדים

● גידול גבישי זרעים

● אופטימיזציה של איכות הגביש

② תהליך אפיטקסיה של מוליכים למחצה

במערכות גדילה אפיטקסיאליות כגון:

● כורי MOCVD

● ציוד אפיטקסיה SiC

● מערכות אפיטקסיה של GaN

מחממי גרפיט מספקים חימום פרוסות מדויק ואחידות טמפרטורה.

התפקידים העיקריים שלהם כוללים:

● שמירה על טמפרטורת תהליך הוופלים

● שיפור אחידות השכבה האפיטקסיאלית

● תמיכה בתגובות כימיות יציבות

③ CVD ועיבוד תרמי בטמפרטורה גבוהה

מחממי גרפיט בעלי טוהר גבוה נמצאים בשימוש נרחב גם ב:

● מערכות CVD

● ציוד חישול

● תנורי דיפוזיה

● מערכות RTP

למה לבחור ב-Semixlab?

① מומחיות בחומרים ברמת מוליכים למחצה

ב-Semixlab, אנו מתמקדים בחומרים מתקדמים של פחמן וקרמיקה עבור יישומי מוליכים למחצה.

פתרונות הגרפיט שלנו מפותחים תוך פיקוח קפדני על:

● טוהר החומר

● אחידות מבנית

● איכות פני השטח

● ביצועים תרמיים

② ביצועים תרמיים אופטימליים

תנורי הגרפיט שלנו מספקים מוליכות תרמית מעולה, ומבטיחים:

● תגובת חימום מהירה

● פיזור טמפרטורה יציב

● עמידות מעולה לזעזועים תרמיים

תמיכה:

● מחזורי חום תכופים

● אורך חיים ארוך

● יכולת עמידות בטמפרטורה גבוהה

③ יכולת עיצוב מותאמת אישית

Semixlab מספקת פתרונות חימום גרפיט מותאמים אישית בהתאם לדרישות הלקוח, כולל:

● מידות גוף החימום

● תצורת צריכת חשמל

● בחירת דרגת גרפיט

● אפשרויות ציפוי פני השטח

● תאימות ציוד

אנו תומכים בפלטפורמות מוליכים למחצה שונות ובמערכות עיבוד תרמי עם פתרונות ספציפיים ליישום.